ITO導電膜玻璃製作流程
ITO導電膜玻璃(lí)的生產工藝流程可分為觸摸屏以及LCD兩類,其中LCD用ITO導電膜玻璃對AR玻璃除了增加TiO2、Nb2O5等多級鍍膜流程外,還要改變工藝(yì)過程相關參數的控製(zhì)標準。同時,由於(yú)產品規格不同,尤其是核心技術指標透過率、膜層電導率要求的(de)不同,對導電玻璃膜層結構、鍍膜流程以及鍍膜技術要求也不盡相同。核心流程(chéng)為:(1)切割、磨邊:將(jiāng)采購的大片超薄玻璃(lí)(LCD顯示行業大都使用的是厚度1.1mm以下的超薄玻璃)按客戶需要切割成相應的尺寸,再將玻璃磨邊倒角,以便後續工序中的操作安全和準確定位。
(2)原玻璃檢驗:將切割、磨邊後的玻(bō)璃進行表觀質(zhì)量(劃傷、點缺陷、磨邊質量、幾何尺寸等)檢驗(yàn),將不符(fú)合要求的玻璃挑出。(3)清洗:電子玻璃對表(biǎo)觀的要(yào)求非常高,需要在淨化環境中進行,因此在進行真空鍍膜前,需將切割磨邊好的玻璃進行清洗(xǐ)。玻璃基板的(de)清洗工藝流程為(wéi):清洗液滾刷清洗→清洗液盤刷清洗→純淨水滾刷清洗→純淨水盤刷清洗→純淨水噴淋→熱風吹幹→送(sòng)入超淨間。經(jīng)表觀檢驗合格後,作為鍍膜使用。(4)真空鍍膜:將清洗後檢驗合格的玻璃裝上鍍(dù)膜車架,送入真空鍍膜機進行鍍膜。真空鍍膜的工藝流程為:玻璃裝片→根據產品要求調(diào)整設備工(gōng)作參數(靶電壓、電流、溫度、工作(zuò)節拍)→鍍SiO2薄膜→鍍ITO薄膜→卸片。(5)成品檢驗:根據產品質量標(biāo)準,逐片檢查成品表觀質量,電氣性能參數,並采用抽(chōu)樣檢驗的方法,將(jiāng)檢驗好的玻璃按客戶要求包(bāo)裝,並做(zuò)好(hǎo)標示,便於質量追蹤檢查。